用于驱动干涉调制器的系统、装置和方法

摘要

本发明提供用于控制模拟干涉调制器的致动的系统、方法和设备。在一个方面，可从感测电极确定电压。可基于所述电压确定所述电极中的一或多者之间的距离。所述感测电极可电容耦合到另一电极，且可实施于干涉调制器的可移动层的镜中，或可实施于干涉调制器的浮动固定层中。

主权项

一种用于调制光的装置，其包括：第一电极，其耦合到第一电压源；第二电极；可移动电极，其安置在所述第一电极与所述第二电极之间且与所述第一电极和所述第二电极间隔开，所述可移动电极包含第三电极和第四电极，所述第三电极与所述第四电极电容耦合，所述第三电极和所述第四电极定位于通过间隙分离的两个不同的平行平面中；电压传感器，其耦合到所述第三电极；以及第二电压源，其耦合到所述第四电极，其中所述第二电极耦合到第三电压源。