发明名称 一种用于太阳能硅片制造的清洗液
摘要 本发明公开了一种用于太阳能硅片制造的清洗液,由非离子表面活性剂,阴离子表面活性剂,金属离子络合剂,缓蚀剂和余量去离子水组成。本发明清洗液呈中性,pH值为6~8,不含磷,铬添加剂,使用量少,对硅片无过腐蚀,清洗污垢快,成本低,对硅片表面的洗涤性能高,清洗成品合格率在99%以上,对接触的操作人员无毒害腐蚀伤害,使用安全,适用于自动超声波清洗生产线。
申请公布号 CN103952246A 申请公布日期 2014.07.30
申请号 CN201410075280.2 申请日期 2014.03.03
申请人 西安通鑫半导体辅料有限公司 发明人 李新家;贾明
分类号 C11D1/83(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I 主分类号 C11D1/83(2006.01)I
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人 徐文权
主权项 一种用于太阳能硅片制造的清洗液,其特征在于:按质量百分比计包括1~10%的非离子表面活性剂,1~10%的阴离子表面活性剂,0.5~5%的金属离子络合剂,0.5~5%的缓蚀剂,余量为去离子水。
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