发明名称 |
一种用于太阳能硅片制造的清洗液 |
摘要 |
本发明公开了一种用于太阳能硅片制造的清洗液,由非离子表面活性剂,阴离子表面活性剂,金属离子络合剂,缓蚀剂和余量去离子水组成。本发明清洗液呈中性,pH值为6~8,不含磷,铬添加剂,使用量少,对硅片无过腐蚀,清洗污垢快,成本低,对硅片表面的洗涤性能高,清洗成品合格率在99%以上,对接触的操作人员无毒害腐蚀伤害,使用安全,适用于自动超声波清洗生产线。 |
申请公布号 |
CN103952246A |
申请公布日期 |
2014.07.30 |
申请号 |
CN201410075280.2 |
申请日期 |
2014.03.03 |
申请人 |
西安通鑫半导体辅料有限公司 |
发明人 |
李新家;贾明 |
分类号 |
C11D1/83(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I |
主分类号 |
C11D1/83(2006.01)I |
代理机构 |
西安通大专利代理有限责任公司 61200 |
代理人 |
徐文权 |
主权项 |
一种用于太阳能硅片制造的清洗液,其特征在于:按质量百分比计包括1~10%的非离子表面活性剂,1~10%的阴离子表面活性剂,0.5~5%的金属离子络合剂,0.5~5%的缓蚀剂,余量为去离子水。 |
地址 |
710300 陕西省西安市沣京工业园谭滨北路3号 |