发明名称 |
一种阶梯式沟槽MOS肖特基二极管器件 |
摘要 |
本发明公开了一种阶梯式沟槽MOS肖特基二极管器件,包括N+半导体衬底;N-外延层,位于N+半导体衬底上;N-外延层上加工阶梯状的沟槽结构;梯形沟槽内壁生长氧化层;N-外延层上及沟槽内生长肖特基接触的阳极金属;N+衬底下面生长欧姆接触的阴极金属。所述的沟槽结构是由两个直角沟槽形成阶梯状沟槽;即N-外延层的截面为周期性排列的凸出状。将传统TMBS里面的直角沟槽的上部沟槽宽度变宽,这样能有效的调节沟槽中不同部位的电场耦合作用,从而调节沟槽中间有源区不同深度处电场强度。使用该结构可以保持在击穿电压不减小、正向导通电压只是略有增加的情况下,实现漏电的大幅降低。 |
申请公布号 |
CN103956389A |
申请公布日期 |
2014.07.30 |
申请号 |
CN201410148707.7 |
申请日期 |
2014.04.14 |
申请人 |
杭州启沛科技有限公司;南京大学 |
发明人 |
蔡银飞;翟东媛;赵毅;施毅 |
分类号 |
H01L29/872(2006.01)I;H01L21/338(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/872(2006.01)I |
代理机构 |
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 |
代理人 |
陈建和 |
主权项 |
一种阶梯式沟槽MOS肖特基二极管器件,包括N+半导体衬底;N‑外延层,位于N+半导体衬底上;N‑外延层上加工阶梯状的沟槽结构;其特征在于:梯形沟槽内壁生长氧化层;N‑外延层上及沟槽内生长肖特基接触的阳极金属;N+衬底下面生长欧姆接触的阴极金属。 |
地址 |
311100 浙江省杭州市余杭区文一西路998号19幢704 |