用于处理、加热和冷却衬底的方法和装置，在该衬底上由工具在热可流动材料涂层中制得图案，包括衬底运输、工具搁置、工具张紧以及工具退回

摘要

工件利用多孔皮带运送，该皮带将工件传送到卡盘，工件通过真空保持在卡盘上。皮带可为多孔PTFE(聚四氟乙烯)。柔性印模在其施加至工件之前被预热，通过例如用真空将印模拉向受热板。

主权项

在已经描述了这里公开的发明之后，所要主张的是：1.一种将柔性工具施加至衬底并将可流动层施加于其表面上的方法，包括以下步骤；a.在带有衬底的环境中提供包括平坦柔性元件的柔性工具，所述平坦元件携带图案且还处于张力下，所述张力在所述柔性元件的平面中在所有方向上基本相等；b.使所述柔性元件与受热的可流动层接触，所述柔性工具的加热程度相对于张力程度可使得所述柔性工具在所述接触步骤中保持在张力下。