酸性蚀刻液再生设备

摘要

本实用新型揭示了一种可以再生酸性蚀刻液以及回收铜的设备，包括相互连接的反应器和电解槽，所述反应器包括一个预溢流室及第一、第二、第三溢流室，所述电解槽包括A隔间和B隔间，所述A隔间包括用于产生反应气体的第一阳极室；用于回收铜的第一阴极室，以及置于所述第一阳极室和和第一阴极室之间的中间室；所述B隔间包括用于产生反应气体和加速剂的第二阳极室，以及用于回收铜的第二阴极室。本实用新型的突出效果为：电解槽结构简单、紧凑，能很好地为再生过程提供需要的加速剂和反应气体；整个再生过程不需要添加任何再生用的添加剂；提高了蚀刻过程的稳定性和灵活性，将大大改善蚀刻工艺。

主权项

一种酸性蚀刻液再生设备，其特征在于：包括，一与蚀刻机内的蚀刻液池连接的反应器，所述反应器包括一个预溢流室及第一、第二、第三溢流室，所述蚀刻液从预溢流室流出后按序进入三个溢流室，一与所述反应器连接的电解槽，所述电解槽包括内设有电‑电渗析系统的A隔间和内设有电解系统的B隔间，所述A隔间包括用于产生反应气体O₂的第一阳极室；用于回收铜的第一阴极室，以及置于所述第一阳极室和和第一阴极室之间的中间室；所述B隔间包括用于产生反应气体O₂和加速剂ClO₃^‑的第二阳极室，以及用于回收铜的第二阴极室；所述电解槽还包括第一缓存槽和第二缓存槽，所述第一缓存槽的入口与所述预溢流室连接，所述第一缓存槽的出口与所述第一溢流室连接，所述第一缓存槽还与所述电解槽内的第一阴极室和第二阴极室连通，所述第一阳极室与第二缓存槽连通，所述中间室与第二溢流室连通，所述第二阳极室与第一溢流室连通，所述反应器与电解槽之间还设有气体管路并将两者连接起来，所述第三溢流室的出口连接于所述蚀刻机内的蚀刻液池或蚀刻液喷头。