| 发明名称 | 一种尾气冷却装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种尾气冷却装置，该装置包括：冷却外罩、尾气输送管道、障碍物，其中：障碍物安装在尾气输送管道中。本实用新型解决了由于冷却装置比较短小，加之尾气气流速度快，因此热交换效率低，实际冷却效果不好的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN203744772U | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN201320844137.6 | 申请日期 | 2013.12.19 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 卢言晓;董金卫;杨帅 |
| 分类号 | F28D7/10(2006.01)I;F28F9/24(2006.01)I | 主分类号 | F28D7/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李迪 |
| 主权项 | 一种尾气冷却装置，其特征在于，该装置包括：冷却外罩、尾气输送管道、障碍物，其中：障碍物安装在尾气输送管道中。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 | ||