一次性可编程器件的制造方法

摘要

本发明提供一种一次性可编程器件的制造方法，在对浮栅上方沉积介质层之前，先对其表面用特定的药液进行清洗，以去除浮栅上经刻蚀后残留的电荷或颗粒，以获得更清洁的表面，并且此方法不会损害浮栅本体。之后，再进行后续的介质层沉积。如此一来，一次性可编程器件的浮栅上方不会存在电荷或颗粒，避免了浮栅在存储电子时由于电子不稳定导致存储单元失效的情况。

主权项

一种一次性可编程器件的制造方法，其特征在于，包含如下步骤：在一衬底上形成二栅极，用以分别作为控制栅和浮栅；形成掩蔽膜，所述掩蔽膜覆盖所述控制栅、浮栅及衬底；去除所述浮栅上的部分厚度的掩蔽膜；清洗所述浮栅；形成介质层，所述介质层覆盖所述掩蔽膜的表面；去除所述控制栅上的介质层和掩蔽膜；在所述控制栅和浮栅的两侧分别形成源极和漏极，所述控制栅和浮栅共用一源极或漏极。