一种用热氧化法制备三氧化钨纳米片的方法

摘要

本发明公开了一种用热氧化法制备三氧化钨纳米片的方法。本发明不采用任何催化剂，直接将金属钨原料加热至一定温度并保温，通过通入N₂、Ar等惰性气体，控制氧化环境中的氧气含量低于10％。保温结束后自然冷却或通保护气体降温，即可得到三氧化钨纳米片。通过采用定域制备的金属钨薄膜，本发明可以实现定域制备三氧化钨纳米片。本方法可以在较低温度下不使用任何催化剂，在各种衬底上制备出三氧化钨纳米片。

主权项

一种用热氧化法制备三氧化钨纳米片的方法，其制备步骤如下： 1)清洗衬底; 2)在衬底上镀金属钨薄膜; 3)将步骤2）得到的样品放入可以加热的腔室中，往腔室内通入N₂，或惰性气体，或氧气与N₂，或氧气与惰性气体的混合气体,使腔室内氧气浓度降低至小于10%； 4)腔室内温度升高至400℃～800℃，并保温，在此过程中，需通入N₂或者Ar气； 5)不通气自然降温或通惰性气体降温，直至室温。