发明名称 |
用于在光聚合物表面上产生光掩模的工艺 |
摘要 |
提供了一种在光聚合物表面上印刷高分辨率图案的工艺。 |
申请公布号 |
CN102365584B |
申请公布日期 |
2014.07.30 |
申请号 |
CN201080013570.4 |
申请日期 |
2010.01.27 |
申请人 |
迪吉福来克斯有限公司 |
发明人 |
摩西·夫伦克尔;亚科夫·马祖兹;奥列格·布瑞森;纳塔莉亚·伊万诺娃 |
分类号 |
G03F1/68(2012.01)I;B41C1/10(2006.01)I |
主分类号 |
G03F1/68(2012.01)I |
代理机构 |
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 |
代理人 |
杨洲;郑霞 |
主权项 |
一种用于在光聚合物表面上产生光掩模的工艺,所述工艺包括:提供光聚合物表面,所述光聚合物表面已经被具有至少一种活性组分的膜涂覆,所述至少一种活性组分选自多价盐、多价阳离子、质子、酸、酸性缓冲溶液和聚阳离子聚合物;以及在所述膜上直接印刷至少一种油墨,所述油墨包含高于7.0的pH的至少一种阴离子聚合物,所述油墨是UV吸收的,其中所述至少一种活性组分被选择以允许所印刷的油墨经历与其进行的相互作用,所述相互作用是化学反应或物理相互作用或二者的组合,以由此影响多个油墨液滴固定为油墨网点,以在所述膜上形成图案,所述图案是吸收UV的,其中所述膜还包含至少一种润湿剂;至少一种抗结晶剂;至少一种增塑剂;以及任选地,选自渗透剂、保湿剂和聚合物的至少一种添加剂。 |
地址 |
以色列法萨巴 |