一种融合传感器

摘要

本实用新型实施例公开了一种融合传感器，包括：衬底晶圆、位于所述衬底晶圆表面的MEMS惯性传感器结构以及位于所述MEMS惯性传感器结构表面的MEMS压力传感器结构，其中，所述MEMS压力传感器结构中的MEMS压力传感器晶圆、所述MEMS惯性传感器结构中的环形MEMS惯性传感器晶圆以及所述衬底晶圆共同构成一真空腔，从而使得所述MEMS惯性传感器结构与所述MEMS压力传感器结构共用一个真空腔，进而使得本实用新型所提供的融合传感器在同时实现MEMS惯性传感器与MEMS压力传感器功能的基础上，降低了所述融合传感器的尺寸。

主权项

一种融合传感器，其特征在于，包括：衬底晶圆，位于所述衬底晶圆表面的MEMS惯性传感器结构，所述MEMS惯性传感器结构包括：位于所述衬底晶圆表面的环形MEMS惯性传感器晶圆以及位于所述环形MEMS惯性传感器晶圆中间的惯性传感器检测单元；位于所述MEMS惯性传感器结构表面的MEMS压力传感器结构，所述MEMS压力传感器结构包括：位于所述环形MEMS惯性传感器晶圆表面的MEMS压力传感器晶圆、相对位于所述MEMS压力传感器晶圆上表面内的第一压敏电阻和第二压敏电阻；其中，所述MEMS压力传感器晶圆包括：环形侧壁以及位于所述环形侧壁包围区域的应变薄膜，所述应变薄膜与所述惯性传感器检测单元之间具有间隙，且所述环形侧壁、所述应变薄膜与所述MEMS惯性传感器晶圆、所述衬底晶圆共同构成真空腔。