| 发明名称 | 用于多通道流量比率控制器系统的方法和装置 | ||
| 摘要 | 一种四通道气体递送系统，包括：入口通道；四个出口通道；四个流量传感器；四个控制阀，每一个阀被布置成控制从入口通道经过相应的一个出口通道的流量；流量比率控制系统被配置成控制从入口通道经过相应的出口通道的流量，使得以下流量比得以控制：(a)第一对出口通道之间的流量的第一比率；(b)第二对出口通道之间的流量的第二比率；以及(c)第一对出口通道相对于第二对出口通道之间的流量的第三比率；其中第三比率通过产生分别施加到至少一对阀的至少一个偏置信号来控制，偏置信号是第三比率的预定的给定值和第三比率的测量值的函数。 | ||
| 申请公布号 | CN103958733A | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN201280059510.5 | 申请日期 | 2012.09.28 |
| 申请人 | MKS仪器公司 | 发明人 | 丁军华 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;G05D11/13(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 张伟;王英 |
| 主权项 | 一种四通道气体递送系统，包括：入口通道；四个出口通道；四个控制阀，每一个阀被布置成控制从所述入口通道经过所述出口通道中的相应一个的流量；流量比率控制系统，其被配置成控制从所述入口通道经过相应的所述出口通道的流量，使得以下流量比率得以控制：(a)第一对所述出口通道之间的流量的第一比率；(b)第二对所述出口通道之间的流量的第二比率；以及(c)第一对所述出口通道相对于第二对所述出口通道之间的流量的第三比率；其中通过产生分别施加到至少一对阀的至少一个偏置信号来控制所述第三比率，所述偏置信号是所述第三比率的预定的设定点和所述第三比率的测量值的函数。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||