一种PECVD进气结构

摘要

本实用新型公开了一种PECVD进气结构，包括设于反应室内的一Y型进气管，所述Y型进气管的两个进气口穿过反应室底部的前过渡法兰，分别与反应室外的两根工艺管道连接，所述三通管的出气口上设有一喷淋进气嘴，所述喷淋进气嘴的开口朝向反应室的顶部设置。本实用新型可以使反应室内的工艺气体散布均匀，使电池片的镀膜更加均匀，从而提高电能转换效率。

主权项

一种PECVD进气结构，包括设于反应室内的一Y 型进气管，所述Y 型进气管的两个进气口穿过反应室底部的前过渡法兰，分别与反应室外的两根工艺管道连接，其特征在于：所述Y 型进气管的出气口上设有一喷淋进气嘴，所述喷淋进气嘴的开口朝向反应室的顶部设置。