| 发明名称 | 一种炉门控制机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体立式热处理设备技术领域，尤其涉及一种炉门控制机构。该炉门控制机构的升降气缸通过导向轴与炉门连接，旋转气缸通过摆杆机构与炉门连接，限位机构用于限制炉门的升降和旋转的位置。本实用新型的炉门控制机构通过升降气缸控制炉门的升降，通过旋转气缸控制炉门的旋转，通过导向轴承担径向倾覆力，使机构更加稳定，通过限位机构的设置使炉门实现精确开闭，其具有结构简单，稳定可靠的特点，可以精确方便地控制炉门的运动过程，节约成本，提高了工作效率，同时可以进一步优化微环境的洁净度。 | ||
| 申请公布号 | CN203744726U | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN201320859115.7 | 申请日期 | 2013.12.24 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 张敏亮;林欣家;郝琪 |
| 分类号 | F27D1/18(2006.01)I | 主分类号 | F27D1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 孟宪功 |
| 主权项 | 一种炉门控制机构，包括炉门（1），其特征在于，还包括升降气缸（2）、旋转气缸（3）、导向轴（5）和限位机构，所述升降气缸（2）通过所述导向轴（5）与所述炉门（1）连接，所述旋转气缸（3）通过摆杆机构与所述炉门（1）连接，所述限位机构用于限制所述炉门（1）的升降和旋转的位置。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 | ||