一种TFT玻璃薄化预处理方法

摘要

本发明提供一种TFT玻璃薄化预处理方法，包括以下步骤：在密闭容器中注入浓硫酸、浓盐酸以及氢氟酸的混合酸液；将混合酸液加热至28-30℃同时鼓泡搅拌均匀；把混合酸液注入蚀刻设备中，持续鼓泡搅拌30-60分钟至搅拌均匀；把需要薄化处理的TFT玻璃浸泡在混合液中持续15-60分钟，去玻璃表面双层50-80微米；把TFT玻璃洗净保湿，再放入氢氟酸蚀刻液中进行薄化处理。经过预处理的TFT玻璃面板表面凹坑得到抑制，凹坑深度明显比没有经过处理蚀刻后的玻璃浅，尺寸明显减小，间接表现为相同机台，相同条件抛光时间减短达50-80%，甚至可以达到不用抛光的效果。

主权项

一种TFT玻璃薄化预处理方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一,在密闭容器中注入体积比分别为90‑95%、3‑5%、2‑5%的浓硫酸、浓盐酸以及氢氟酸的混合酸液；步骤二,在密闭容器中将混合酸液加热至28‑30℃同时鼓泡搅拌均匀；步骤三,把混合酸液注入蚀刻设备中，持续鼓泡搅拌30‑60分钟至搅拌均匀；步骤四，把需要薄化处理的TFT玻璃浸泡在混合液中持续15‑60分钟，去玻璃表面双层50‑80微米；步骤五,把经过预处理的TFT玻璃洗净保湿，再放入氢氟酸蚀刻液中进行薄化处理。