发明名称 |
一种锗晶体码盘分划工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种锗晶体码盘分划工艺,其工艺流程为:涂胶→前烘→曝光→中烘→显影→后烘→清洗→镀铬→去胶→检验。本发明的有益效果是:解决了锗晶体码盘图案的制作技术难题,在锗晶体光坯上制作出明暗对比度大、图案边缘不均匀性小的码盘图案,激光通过码盘上的光栅通道,形成信息场的调制频率,满足激光驾束制导仪的使用。该方法对晶体分划元件的制作具有很好的推广应用价值。可广泛应用于光学仪器分划元件的加工,可用于航天、航空、激光驾束制导系统、红外产品光学系统等。在锗晶体光坯上制作出明暗对比度大、图案边缘不均匀性小的码盘图案。 |
申请公布号 |
CN103955114A |
申请公布日期 |
2014.07.30 |
申请号 |
CN201410211244.4 |
申请日期 |
2014.05.20 |
申请人 |
河南平原光电有限公司 |
发明人 |
苏颖;陈俊霞;张勇;张成群;龚涛;赵科兵;赵淑君 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;G01D5/347(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种锗晶体码盘分划工艺,其特征在于:其工艺流程为:涂胶→前烘→曝光→中烘→显影→后烘→清洗→镀铬→去胶→检验。 |
地址 |
454001 河南省焦作市工业路1号河南平原光电有限公司 |