基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置

摘要

基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置，属于原子发射光谱测量技术领域。该装置采用凹面镜将等离子体的发散的辐射光信号聚集成平行光，然后导入光谱仪进行光谱分析；或者利用两个以上的采集透镜从不同的角度对激光诱导产生的等离子体的辐射光信号进行采集，输入光谱仪后将信号叠加后用于光谱分析。该装置能够减少等离子体辐射光信号的不均匀性导致的测量不稳定性，提高了信号的采集效率，进而提高激光诱导击穿光谱测量的重复性。

主权项

一种基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置，所述装置包括入射单元、光信号接收单元、样品以及数据分析单元(7)；入射单元含有激光器(1)和聚焦透镜(2)；所述光信号接收单元含有一个采集透镜(3)、光纤(4)和光谱仪(5)；其特征在于：光信号接收单元还包括一个中心开孔的凹面镜(8)，该凹面镜放置在样品(6)的表面上，凹面镜的反射面朝向采集透镜，激光经过聚焦透镜聚焦(2)后，穿过凹面镜的中心孔击打在样品表面产生等离子体，该采集透镜(3)设置在等离子体的正上方；等离子体(9)位于凹面镜的焦点处；凹面镜将等离子体(9)发出的发散的辐射光信号转化为平行光进行收集后输入光谱仪，并将光谱仪得到的光谱信号导入数据分析单元进行光谱分析。