一种波纹软管装置

摘要

本实用新型涉及蚀刻显影设备中连接管道的技术领域，公开了一种用于蚀刻摇摆喷淋机构上的波纹软管装置，其包括首尾贯通的软管，软管的两端均设置开口，开口处设置有用于与外部管道可拆卸密封连接的活接组件，且开口与活接组件之间设有过滤器；活接组件包括套设于开口上的活接盖以及活结接头，该活结接头的尾端与外部管道紧固连接，且该活结接头的首端伸入活接盖中与其配合形成可拆卸连接，且活结接头与活接盖配合抵紧开口的边缘。上述的波纹软管装置，在软管两端的开口上安装活接组件，通过该活接组件实现了与外部管道之间的快速安装或者拆卸，节省了工时；另外，开口与活接组件之间设置了过滤器，有效避免了蚀刻摇摆喷淋机构中喷嘴芯的堵塞问题。

主权项

一种波纹软管装置，用于蚀刻摇摆喷淋机构上，其特征在于，包括首尾贯通的软管，所述软管的两端均设置开口，所述开口处设置有用于与外部管道密封连接的活接组件，且所述开口与所述活接组件之间设有过滤器；所述活接组件包括套设于所述开口上的活接盖以及活结接头，所述活结接头的尾端与所述外部管道紧固连接，所述活结接头的首端伸入所述活接盖中与其配合形成可拆卸连接，且所述活结接头与所述活接盖配合抵紧所述开口的边缘。