旋转密封边界膜膜厚测量方法

摘要

本发明属于厚度测量技术领域，具体涉及一种边界膜膜厚的测量方法。旋转密封边界膜膜厚测量方法，其技术方案是，测试所用的旋转密封件工作在含有添加剂的润滑油中，所以其表面会生成含有活性元素的边界膜,通过扫描式电子显微镜、射线光电子能谱仪测量活性元素在样品截断面的分布，即可测得膜厚。本发明原理简单，与其他测量固体不透明薄膜的方法相比省去了昂贵的探头的使用，节约了成本。

主权项

旋转密封边界膜膜厚测量方法，其特征在于，它通过在旋转密封件上截取的样品截面进行扫描，分析截面区域内活性元素的含量变化，获得边界膜膜厚。