发明名称 |
HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板、HDD用磁记录介质以及HDD用玻璃基板的制造方法中所使用的清洗支架 |
摘要 |
本发明提供一种HDD用玻璃基板的制造方法,在清洗工序中,保持着玻璃基板稳定地支撑于清洗支架的状态增大清洗槽内的清洗液的置换率。HDD用玻璃基板的制造方法包括:清洗工序,将玻璃基板收容于清洗支架(20),并将清洗支架(20)放入清洗槽,使清洗液在清洗槽内流动,以便清洗玻璃基板,其中,在清洗工序中,利用具有在收容于清洗支架(20)的玻璃基板的侧方相对置的一对侧壁(24)的清洗支架(20),在清洗支架(20)的侧壁(24)形成有开口,清洗液在清洗槽内沿着通过清洗支架(20)的侧壁(24)的方向流动,使通过清洗槽的清洗液的流量为20~70L/分钟。 |
申请公布号 |
CN103959379A |
申请公布日期 |
2014.07.30 |
申请号 |
CN201280041947.6 |
申请日期 |
2012.06.27 |
申请人 |
HOYA株式会社 |
发明人 |
岛津典子;福本直之 |
分类号 |
G11B5/84(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I;C03C23/00(2006.01)I |
主分类号 |
G11B5/84(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
丁香兰;孟伟青 |
主权项 |
一种HDD用玻璃基板的制造方法,其特征在于包括:清洗工序,将玻璃基板收容于清洗支架,并将清洗支架放入清洗槽,使清洗液在清洗槽内流动,以便清洗玻璃基板,其中,在清洗工序中,利用具有在收容于清洗支架的玻璃基板的侧方相对置的一对侧壁的清洗支架,在清洗支架的侧壁形成有开口,清洗液在清洗槽内沿着通过清洗支架的侧壁的方向流动,使通过清洗槽的清洗液的流量为20~70L/分钟。 |
地址 |
日本东京都 |