发明名称 | Roller shaft for semiconductor cleaning | ||
摘要 | |||
申请公布号 | USD710062(S1) | 申请公布日期 | 2014.07.29 |
申请号 | US201129408194F | 申请日期 | 2011.12.08 |
申请人 | Ebara Corporation | 发明人 | Ishibashi Tomoatsu;Oikawa Fumitoshi;Tanaka Hideaki;Hombo Teruaki |
分类号 | 25-03 | 主分类号 | 25-03 |
代理机构 | Greenblum & Bernstein P.L.C. | 代理人 | Greenblum & Bernstein P.L.C. |
主权项 | We claim the ornamental design for a roller shaft for semiconductor cleaning, as shown and described. | ||
地址 | Tokyo JP |