| 摘要 |
Untersuchungseinrichtung, insbesondere Massenspektrometer, mit mehreren, insbesondere in einer Reihe in einem Einrichtungsgehäuse (10) angeordneten Vakuumkammern (12, 14, 16, 18, 20, 22), einer in dem Einrichtungsgehäuse (10) vorgesehenen Einschubausnehmung (28) zur Aufnahme einer Multi-Inlet-Vakuumpumpe (30), wobei die Multi-Inlet-Vakuumpumpe (30) ein Pumpengehäuse (38) aufweist, in dem eine mehrere Rotorelemente (34) tragende Rotorwelle (32), mit den Rotorelementen (34) zusammenwirkende Statorelemente (36) und eine die Rotorwelle (32) antreibende Antriebseinrichtung (40) angeordnet ist und wobei in dem Pumpengehäuse (38) ein Haupteinlass (54) und mehrere Zwischeneinlässe (56, 58, 60, 62, 64) vorgesehen sind, die jeweils über Verbindungsöffnungen (68) in der Einschubausnehmung (28) mit einer der Vakuumkammern (12, 14, 16, 18, 20) verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass an den Zwischeneinlässen (56, 58, 60, 62, 64) sowie an den Verbindungsöffnungen (68) zumindest teilweise Dichtflächen (70) vorgesehen sind und zumindest ein Dichtflächenpaar (70, 72) im Wesentlichen senkrecht zur Pumpenlängsachse (74) angeordnet ist. |
