| 摘要 |
Le procédé de fabrication de motifs en premier matériau comporte les étapes suivantes : - prévoir un substrat (1) recouvert par une couche de couverture (2), - former un premier masque au moyen d'une structure auto-organisée de copolymères à blocs, le premier masque comportant des premiers motifs, - déposer et insoler une résine (9) pour former un masque intermédiaire sur le premier masque, le masque intermédiaire recouvrant une partie des premiers motifs formés dans le premier masque et comportant des deuxièmes trous faisant face aux premiers trous, - graver la couche de couverture (2) à travers les premiers et deuxièmes trous se faisant face pour former des troisièmes trous (12), - remplir les troisièmes trous (12) par un premier matériau pour former les motifs en premier matériau. |
