Verfahren zum Schutz einer Substratbehandlungsanlage vor Überhitzung

摘要

Verfahren zum Schutz einer beheizten Substratbehandlungsanlage (8) vor Überhitzung, wobei die Substratbehandlungsanlage (8) aus mehreren Anlagenbereichen (1, 7) besteht, in denen sich jeweils eine Behandlungskammer (2) befindet, an der mit einer Heizersteuerung (6) verbundene Heizer (3) angeordnet sind, welche an der Beheizung der Behandlungskammer (2) teilhaben, wobei eine Schutzvorrichtung mit wenigstens einem eine Abschaltung der Heizer (3) bei Überhitzung bewirkenden Temperaturschalter (9), bestehend aus einem Temperatursensor (4) und einer Auswerteeinheit (5), vorgesehen ist, dessen Temperatursensor (4) in der zu überwachenden Behandlungskammer (2) befestigt wird, wobei unabhängig von der Regel- und Steuerung der Substratbehandlungsanlage (8), eine repräsentative Kammertemperatur in der Behandlungskammer (2) durch den Temperatursensor (4) ermittelt wird und die Heizer (3) bei Überschreiten einer kritischen Temperatur abgeschaltet werden, wobei der Schaltpunkt der Auswerteeinheit (5) durch einen Schwellwert bestimmt wird, welcher über der typischen Arbeitstemperatur der Heizer (3) und unterhalb einer für den jeweiligen Anlagebereich (1) oder Behandlungskammer (2) kritischen Temperatur liegt, und bei Überschreitung des Schwellwerts die Heizer (3) abgeschaltet werden und nach Unterschreitung des Schwellwerts die Heizer (3) automatisch wieder freigegeben werden.