线性调频多光束激光外差测量角度的装置及方法

摘要

线性调频多光束激光外差测量角度的装置及方法，属于精密角度测量领域。本发明是为了解决现有精密角度测量方法都不能达到高精度角度测量要求的问题。本发明所述的线性调频多光束激光外差测量角度的装置及方法，利用光学测角具有非接触性、精度高和结构简单等特点，不需要动镜的方向信息，就可以在满足精度的同时实现大范围倾角检测。本发明根据工程领域高精度测量角度的需要，利用线性调频技术把待测的角度信息加载到外差信号的频率差中，通过傅里叶变换可以同时解调出多个待测角度信息，经加权平均处理可以提高待测角度的精度。本发明能够广泛的应用于激光雷达、机械、仪器仪表和电子产品制造业中。

主权项

线性调频多光束激光外差测量角度的装置，其特征在于，它包括：线性调频激光器(1)、平面标准镜(4)、会聚透镜(5)和光电探测器(6)；线性调频激光器(1)输出的线性调频激光入射到平面标准镜(4)上，且入射角θ₀为锐角；平面标准镜(4)前表面的一面将该激光分束成一号反射光和折射光，平面标准镜(4)前表面的一面将该一号反射光反射至会聚透镜(5)上，平面标准镜(4)前表面将该折射光折射至平面标准镜(4)的后表面，该折射光经该平面标准镜(4)的后表面与前表面的另一面多次反射后获得多束二号反射光，该多束二号反射光经该平面标准镜(4)的前表面透射之后，与一号反射光通过会聚透镜(5)汇聚至光电探测器(6)的光敏面上。