一种单模半微盘谐振腔

摘要

本实用新型涉及一种单模半微盘谐振腔，包括分别闭合的内、外轮廓线，内、外轮廓线之间为波导（3），所述内轮廓线由用于电学连接或机械连接的扇形连接区域（2），以及实现波导宽度从窄到宽的渐变过渡曲线（1）组成，所述扇形连接区域（2）的角度小于或等于270度且大于0度。连接区域（2）最大允许270度范围的连接结构，从而连接电阻小，可实现高速响应。过渡曲线（1）可以使谐振腔波导逐渐变宽的同时保证不激发高阶模式和泄漏模式，降低腔损耗。本实用新型提出的半微盘谐振腔为单模工作，不会导致自由光谱范围的减小，可以满足滤波、调制等应用对光场模式的严格要求，在集成领域有众多潜在的用途，包括低能耗高速电光调制器、光学逻辑运算器件、有源滤波器、加热/调谐装置、热光开关、电/机械/光换能器等需要电学或机械连接的谐振腔结构。

主权项

一种单模半微盘谐振腔，包括分别闭合的内、外轮廓线，内、外轮廓线之间为非良导体材料的波导（3），或非良导体材料与金属结合的表面等离子体波导（3），其特征在于，所述内轮廓线由用于电学连接或机械连接的扇形连接区域（2），以及实现波导宽度从窄到宽的渐变过渡曲线（1）组成，所述扇形连接区域（2）的角度小于或等于270度且大于0度。