具有模块式构件构造的表面微结构测量仪器

摘要

本实用新型涉及一种表面微结构测量仪器(10)，在该表面微结构测量仪器中所有功能重要的构件都作为可更换的模块(1、2、5、6、12)设置在一个壳体(7)之内。

主权项

一种粗糙度或表面微结构轮廓测量仪器，其用于测量测量物体的测量物体表面(8)的粗糙度或表面微结构轮廓，包括： 壳体(7)； 测量探测器，该测量探测器包括探测杆(11)，该探测杆完全设置在所述壳体(7)中或者从所述壳体伸出，其中在探测杆(11)上固定有至少一个表面探测体(9)，用于接触式或非接触式或准接触式地采集测量物体表面(8)的粗糙度或表面微结构轮廓； 驱动装置，其用于使表面探测体(9)沿着移动路径在探测路径长度上在进给方向上运动； 具有参考平面的参考引导载体(3)，测量系统载体(4)相对于参考平面在进给方向上可移动地引导地贴靠在所述参考平面上； 至少一个固定在测量系统载体(4)上的测量系统，其用于采集表面探测体(9)相对于测量物体表面(8)的位置； 驱动、数据采集和/或评价电子装置， 其特征在于， 所述测量仪器(10)模块式地由能容易更换的单个模块(1、2、5、6、12)构成，这些单个模块包括至少一个包含所述测量系统的测量模块(5)、包含所述参考引导载体(3)和测量系统载体(4)的参考引导模块(12)、包含所述驱动装置的驱动模块(2)和包含所述驱动、数据采集和/或评价电子装置的电子装置模块(1)，这些模块设置在所述壳体(7)中。