涂布显影设备及其温度控制设备

摘要

本发明公开了一种涂布显影设备及其温度控制设备，该温度控制设备包括至少一个热传感器和温度调整装置；该热传感器插设于调整板中的中空的顶杆中，该顶杆用于支撑基板；该温度调整装置根据该热传感器检测到的该基板的温度，对该基板进行温度控制。本发明通过将热传感器设置于涂布显影设备的调整板的顶杆中，使得能够直接对基板的温度进行测量，对玻璃板的温度进行实时的反应和调整。

主权项

一种涂布显影设备的温度控制设备，包括：至少一个热传感器和一温度调整装置；所述热传感器固定于至少一顶杆，所述顶杆以顶部支撑一基板；所述温度调整装置根据所述热传感器检测到的所述基板的温度，对所述基板进行温度控制。