元件安装装置

摘要

本发明提供一种元件安装装置，其吸嘴座(51)嵌入筒状部件(52)的贯通孔中由筒状部件(52)予以支承。此外，吸嘴(83)相对于吸嘴座(51)中设置的保持孔在上下轴方向(Z方向)上移动自如地受到保持。该吸嘴(83)中设有两个流通孔(FH1、FH2)，另一方面吸嘴座(51)中设有两个连通孔(CH1、CH2)。通过吸嘴向元件吸附位置的下降及吸嘴向上升端的上升，切换连通孔与流通孔的连通连接，调整经由气压导入通道(831)供给吸嘴(83)前端的气压。

主权项

一种元件安装装置，将元件安装到基板上，其特征在于包括：沿上下轴方向设置、用其顶端吸附元件的吸嘴；具有嵌合并保持所述吸嘴的保持孔、一边使所述吸嘴的侧面沿着所述保持孔的内周面滑动接触一边在所述上下轴方向上移动自如地保持所述吸嘴的保持部；以及相对于所述保持部向所述上下轴方向移动所述吸嘴的吸嘴移动机构，其中，所述吸嘴，具有在所述吸嘴的内部延伸设置至所述吸嘴的前端的气压导入通道和从所述吸嘴的侧面延伸设置至所述气压导入通道的至少一个流通孔，所述保持部，具有与所述保持孔相连通、可向所述保持孔供给第1气压的第1连通孔，和与所述保持孔相连通、可向所述保持孔供给第2气压的第2连通孔，所述吸嘴移动机构，通过所述吸嘴向所述流通孔仅与所述第1连通孔相连通的第1位置的下降以及所述吸嘴向所述流通孔仅与所述第2连通孔相连通的第2位置的上升，来调整经由所述气压导入通道供给所述吸嘴的前端的气压。