一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵

摘要

本发明公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，包括泵体、将该泵体分成上、下泵体的基片，下泵体上设有进液口、出液口，下泵体内设有阀腔体，上泵体的上表面设有平面螺旋线圈，该平面螺旋线圈与外部电源电连接；基片和下泵体形成液体腔，该液体腔与进液口、阀腔体连通，阀腔体与出液口连通，液体腔与进液口的连接处设有单向进液膜，液体腔与阀腔体连接处设有单向出液膜；基片的上表面设有正磁致伸缩效应薄膜，下表面设有逆磁致伸缩效应薄膜。本发明采用超磁致伸缩材料，具有响应速度快、频响高等特点；且由平面线圈提供的磁场驱动，体积小、结构简单，显著提高微泵的工作性能，平面螺旋线圈驱动，简化了微泵结构，减小了微泵体积。

主权项

一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：包括泵体、将该泵体分成上、下泵体的基片，所述下泵体上设有进液口、出液口，所述下泵体内设有阀腔体，所述上泵体的上表面设有平面螺旋线圈，该平面螺旋线圈与外部电源电连接；所述基片和所述下泵体形成液体腔，该液体腔与所述进液口、阀腔体连通，所述阀腔体与所述出液口连通，所述液体腔与所述进液口的连接处设有单向进液膜，所述液体腔与所述阀腔体连接处设有单向出液膜；所述基片的上表面设有正磁致伸缩效应薄膜，下表面设有逆磁致伸缩效应薄膜。