三维形状测定装置用探测器

摘要

本发明提供一种三维形状测定装置用探测器，在测定铅垂面和水平面时测定力均小，难以引起振动。三维形状测定装置用探测器具备：安装于三维形状测定装置的安装部；可摆动地与安装部连结的摆动部；被保持为可相对于摆动部上下移动的臂支承部；向臂支承部的下端下垂且在下端配置有触针的臂。臂支承部相对于摆动部的上下移动机构包括：摆动侧构件、臂侧构件、在磁吸引力的作用下被吸引在摆动侧构件与臂侧构件的对置的铅垂面间而进行接触的5个由磁性体构成的球。球在摆动部侧构件和臂侧构件之间一边接触一边滚动，由此臂支承部在铅垂轴上进行移动。另外，为了在摆动部侧构件与臂侧构件之间作用磁吸引力，相对于臂支承部的铅垂轴上的移动而作用复原力。

主权项

一种三维形状测定装置用探测器，其特征在于，具备：安装部，其安装于三维形状测定装置；摆动部，其具有设于所述安装部的载置台和载置于所述载置台的支点构件，以所述支点构件为支点而可摆动地与所述安装部连结，且具有相互交叉的第一面与第二面；施力机构，其具备设于所述摆动部的可动侧构件、和设于所述安装部且隔开间隔地与所述可动侧构件对置的固定侧构件，所述可动侧构件与所述固定侧构件以产生磁吸引力的方式构成，利用该磁吸引力以使所述摆动部朝向恒定的方向的方式对所述摆动部施力；臂支承部，其具有与所述第一面对置的第三面、与所述第二面对置的第四面，且在下端配置有与测定物的被测定面接触的触针的臂以下垂的方式安装于该壁支承部；多个摆动部侧构件，其设于所述摆动部的所述第一面与所述第二面，且分别具有铅垂面；多个臂侧构件，其设于所述臂支承部的所述第三面和所述第四面，分别与所述摆动部侧构件中的任一个在水平方向上隔开间隔地对置，并且具有与对置的所述摆动构件的所述铅垂面在水平方向上隔开间隔地对置的铅垂面，使得与所述摆动侧构件产生磁吸引力；多个球体，其由磁性体构成，分别配置于相互对置的所述摆动部侧构件与所述臂侧构件之间，且在所述磁吸引力的作用下被所述铅垂面吸引而与之接触。