启动加注处理方法和启动加注处理装置

摘要

本发明提供一种能保证启动加注处理的可靠性且能进一步减少清洗液的使用量的启动加注处理方法和启动加注处理装置。使狭缝式喷嘴(72)的喷出口与启动加注辊(14)的顶部平行地相对，使狭缝式喷嘴(72)喷出一定量的抗蚀液(R)，保持该状态地放置该抗蚀液(R)规定时间。然后，使启动加注辊(14)开始旋转而将抗蚀液(R)绕涂在其外周面上。然后，瞬间提高启动加注辊(14)的旋转速度，以将该液膜分成狭缝式喷嘴(72)侧和启动加注辊(14)侧的液膜的方式断开抗蚀液(R)的液膜启动加注，在抗蚀液(R)的液膜断开后仍然使启动加注辊(14)继续旋转，使启动加注辊(14)上的抗蚀液(RM₁)到达规定的待机用旋转角度位置。

主权项

一种启动加注处理方法，该方法用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中， 该方法包括下述工序： 第1工序，为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液； 第2工序，在喷出上述涂敷液后，立即保持使上述启动加注辊静止的状态不变地放置该涂敷液规定时间； 第3工序，使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上； 第4工序，使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时； 第5工序，使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥； 第6工序，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜;在上述启动加注处理方法中， 在上述第3工序与上述第4工序之间具有第7工序，该第7工序为了促使上述第1涂敷液膜自然干燥，使在上述第3工序中开始旋转的上述启动加注辊继续保持旋转规定时间，或者 上述第1待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，位于上述第1涂敷液膜的后 端到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第1涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。