发明名称 |
扫描头及运用此扫描头的扫描臂 |
摘要 |
一种组装于一种离子布植机的扫描臂和其扫描头,其中扫描头适于微幅倾斜一工件,并且包括一外壳、一轴组件、一静电夹具、一第一个驱动机构以及一微倾斜机构。轴组件穿过外壳的一第一侧,并且具有一扭转轴。静电夹具固定于轴组件在外壳外的一第一端上,用以固持工件。第一驱动机构配置于外壳内,并且适于驱动轴组件和静电夹具绕着扭转轴旋转。微倾斜机构配置于外壳内,并且适于驱动轴组件和静电夹具相对于外壳倾斜。 |
申请公布号 |
CN103943446A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201410022308.6 |
申请日期 |
2014.01.17 |
申请人 |
汉辰科技股份有限公司 |
发明人 |
理查德·F·麦克雷 |
分类号 |
H01J37/317(2006.01)I;H01J37/30(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/317(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
闻卿 |
主权项 |
一种扫描头,组装于用于一离子布植机的一扫描臂,适于微幅倾斜一工件,其特征在于,该扫描头包括:一外壳;一轴组件,穿过该外壳的一第一侧,并且具有一扭转轴;一静电夹具,固定于该轴组件在该外壳外的一第一端上,用以固持该工件;一第一驱动机构,配置于该外壳内,并且适于驱动该轴组件和该静电夹具绕着该扭转轴旋转;以及一微倾斜机构,配置于该外壳内,并且适于驱动该轴组件和该静电夹具相对于该外壳倾斜。 |
地址 |
中国台湾新竹县宝山乡新竹科学工业园区研新一路18号5楼 |