倒易式蒸发装置

摘要

一种沉积装置包括：一个或多个蒸发源，每个蒸发源包括带有开口且用来盛放膜材的容器,靠近所述容器并与之进行热交换的第一源加热器，其中所述第一源加热器用来提高膜材的温度并产生膜材蒸气，封闭所述容器和所述第一源加热器的源封闭体。所述源封闭体包括用来引导所述膜材蒸气流向衬底的出气口。所述沉积装置还包括多个与衬底有热交换的第一衬底加热器。所述衬底包括通过所述蒸气冷凝在其表面沉积所述膜材的沉积表面。所述多个加热器用于加热衬底的不同部位到不同的温度。

主权项

一种沉积装置，包括：一个或多个蒸发源，每个蒸发源包括：带有开口且用来盛放膜材的容器；靠近所述容器并与之进行热交换的第一源加热器，其中所述第一源加热器用来提高膜材的温度并产生膜材蒸气；封闭所述容器和所述第一源加热器的源封闭体，其中所述源封闭体包括用来引导所述膜材蒸气流向衬底的出气口；以及多个与衬底有热交换的第一衬底加热器，其中所述衬底包括通过所述蒸气冷凝在其表面沉积所述膜材的沉积表面，所述多个第一衬底加热器用于加热衬底的不同部位到不同的温度。