一种宽光谱双层透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开的宽光谱双层透明导电薄膜自下而上依次为柔性衬底，ZnO薄膜和ZnO:F薄膜，其中，ZnO:F薄膜的F与Zn的原子比为1%～5%。该薄膜的制备采用的是磁控溅射法，在柔性衬底上先以纯ZnO陶瓷靶为靶材溅射一层ZnO薄膜，再以F与Zn原子比为1%～5%的ZnO陶瓷靶为靶材，溅射一层ZnO:F薄膜。本发明的宽光谱双层透明导电薄膜由于采用双层结构，使得薄膜迁移率大大提高，电阻率明显下降，显著提高了薄膜的电学性能，且该双层薄膜在可见光区域以及红外光区域均具有较高的透过率，平均透过率可以达到80%以上。本发明所用的材料成本低廉，制备过程简单，易于实现，适合制备大面积薄膜。

主权项

一种宽光谱双层透明导电薄膜，其特征在于自下而上依次为柔性衬底（1），ZnO薄膜（2）和ZnO:F薄膜（3），其中，ZnO:F薄膜的F与Zn的原子比为1%～5%。