| 发明名称 | 一种外延生长时gap值的测量装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种外延生长时gap值的测量装置，包括架体，架体上设有千分计，所述千分计有n个，n个千分计按圆周均匀设置；n为大于或等于3的正整数。本实用新型提供的一种外延生长时gap值的测量装置，可有效的快速检测并调整因基座盘的变形导致的工艺不稳定因素，能有效的减少设备维护时间，提高机台的运行时间，最终有效的控制生长成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203733765U | 申请公布日期 | 2014.07.23 |
| 申请号 | CN201420051372.2 | 申请日期 | 2014.01.26 |
| 申请人 | 西安神光安瑞光电科技有限公司 | 发明人 | 董治辉;陈焱;苏晓华 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人 | 倪金荣 |
| 主权项 | 一种外延生长时gap值的测量装置，包括架体，其特征在于：所述架体上设有千分计，所述千分计有n个，n个千分计按圆周均匀设置；n为大于或等于3的正整数。 | ||
| 地址 | 710100 陕西省西安市航天基地东长安街888号 | ||