一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器

摘要

一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器，底座顶端的凹槽内连接有玻璃基底和两根电极柱，电极柱穿过底座伸出外管壳外，玻璃基底用环氧树脂粘接在底座顶端的凹槽内，玻璃基底的上方配置有石英梁，石英梁由两端的第一、第二基座和中间的梁连接构成，玻璃基底的顶部设有第一、第二凸台，底部设有凹槽，第一、第二基座底面用焊料固定在第一、第二凸台上，基座正面沉积有压焊块，压焊块通过超声热压键合用金丝与电极柱连接，通过电路将石英梁谐振阻抗随压力变化的信号提取出来，就可以监测待测环境的真空度值，本发明具有精度高、稳定性好、抗干扰能力好等优点。

主权项

一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器，包括底座（6），底座（6）和外管壳（1）连接在一起，外管壳（1）内腔和底座（6）接触的凹槽内配置有O型橡胶密封圈（4），外管壳（1）顶部的压力孔与待测压力相通，其特征在于：底座（6）顶端的凹槽内连接有玻璃基底（3）和两根电极柱（5），电极柱（5）穿过底座（6）伸出外管壳（1）外，玻璃基底（3）用环氧树脂（10）粘接在底座（6）顶端的凹槽内，玻璃基底（3）的上方配置有石英梁（2），石英梁（2）由两端的第一基座（2‑1）、第二基座（2‑2）和中间的梁（2‑5）连接构成，玻璃基底（3）的顶部设有第一凸台（3‑1）、第二凸台（3‑2），底部设有凹槽（3‑3），第一基座（2‑1）底面用焊料（9）固定在第一凸台（3‑1）上，第二基座底面（2‑2）用焊料（9）固定在第二凸台（3‑2）上，第一基座（2‑1）正面沉积有第一压焊块（2‑3），第二基座（2‑2）正面沉积有第二压焊块（2‑4），第一压焊块（2‑3）通过超声热压键合用金丝（8）与第一电极柱（5‑1）连接，第二压焊块（2‑4）通过超声热压键合用金丝（8）与第二电极柱（5‑2）连接。