一种智能化选择性目标尺寸调整方法

摘要

本发明公开了一种智能化选择性目标尺寸调整方法，包括如下步骤：接收原始版图数据；对原始版图数据进行逻辑运算，形成合成图形；对原始版图数据形成的合成图形进行选择性目标尺寸调整；判断经选择性目标尺寸调整后的中间版图是否符合设计规则；若符合设计规则，则保持选择性目标尺寸调整的结果，若不符合设计规则，则判断不符合规则的地方是属于第一类图形还是第二类图形；根据判断结果对不符合规则的地方进行相应处理；将以上各类结果进行整合，并进行基于模型的光学邻近效应修正，输出最终的OPC数据，本发明于违反设计规则的图形出现时，能保证结果在不违反设计规则的同时，根据实际需求对该类图形进行不同的智能化处理。

主权项

一种智能化选择性目标尺寸调整方法，包括如下步骤：步骤一，接收原始版图数据；步骤二，对原始版图数据进行逻辑运算，形成合成图形；步骤三，对原始版图数据形成的合成图形进行选择性目标尺寸调整；步骤四，判断经选择性目标尺寸调整后的中间版图是否符合设计规则；步骤五，若符合设计规则，则保持选择性目标尺寸调整的结果，若不符合设计规则，则判断不符合规则的地方是属于第一类图形还是第二类图形；步骤六，根据判断结果对不符合规则的地方进行相应处理；步骤七，将以上各类结果进行整合，并进行基于模型的光学邻近效应修正，输出最终的OPC数据。