一种制备管状零件内孔涂层的装置

摘要

本发明涉及一种制备管状零件内孔涂层的装置，包括夹持夹具、辅助电极及TiCl₄储液罐,所述夹持夹具固定在真空室的中心位置，所述TiCl₄储液罐通过连接管与真空室相连接，其中所述夹持夹具由三根支撑杆托起的管状支架构成，所述管状支架与直流脉冲偏压电源的阴极连接，所述辅助电极设置在所述夹持夹具的轴心线上并与直流脉冲偏压电源阳极连接。本发明通过通过将偏压电源的阳极接在管状中心辅助电极上且电位悬浮，从而将辉光放电约束到了管状零件内孔，解决空间有限导致鞘层重叠、离子能量低、涂层结合力不好的问题，解决外部扩散进入的等离子体快速耗尽，密度低，轴向不均匀的问题，提高管内等离子体的密度和均匀性，实现高效和轴向均匀沉积。

主权项

一种制备管状零件内孔涂层的装置，其特征在于：包括夹持夹具（1）、辅助电极（2）及TiCl₄储液罐（3）, 所述夹持夹具（1）固定在真空室（4）的中心位置，所述TiCl₄储液罐（3）通过连接管与真空室（4）相连接，其中所述夹持夹具（1）由三根支撑杆（11）托起的管状支架（12）构成，所述管状支架（12）管壁上端均布有两个以上的固定孔（13），所述支撑杆（11）和所述管状支架（12）之间通过陶瓷体（14）绝缘连接，所述管状支架（12）与直流脉冲偏压电源（5）的阴极连接，所述辅助电极（2）设置在所述夹持夹具（1）的轴心线上并与直流脉冲偏压电源（5）阳极连接。