一种基于圆盘微机械谐振器的PM2.5颗粒物检测装置

摘要

本发明公开一种基于圆盘微机械谐振器的PM2.5颗粒物检测装置。基于氮化铝圆盘谐振器的平面谐振模态，提出一种新的PM2.5颗粒物质量法检测机理，通过检测沉积颗粒物条件下圆盘谐振器谐振频率的变化，检测空气中PM2.5颗粒物浓度。基于该检测机理，使用MEMS制造与集成工艺，制造空气中PM2.5颗粒物静电驱动与吸附装置、颗粒物过滤装置、质量法检测微机械敏感单元，并将上述结构集成在微小型集成封装单元内，构成PM2.5颗粒物检测装置，以实现空气中PM2.5颗粒物的高精度、快速检测。通过使用MEMS工艺制造微机械器件，应用于PM2.5检测装置中，减小检测设备的体积与功耗，实现检测设备的微小型化与集成化，提高PM2.5的检测精度与检测速度，提高谐振性能与检测精度可靠性。

主权项

一种基于圆盘微机械谐振器的PM2.5颗粒物检测装置，其特征在于：包括空气中PM2.5颗粒物静电驱动与吸附装置，空气中PM2.5颗粒物过滤装置，空气中PM2.5颗粒物质量法检测微敏感单元，微小型集成封装单元。