对光学光刻系统中的扇区极化照明源进行建模的方法和设备

摘要

本发明的一个实施例提供了一种构造源极化模型，以仿真光学光刻系统中的照明源的分段恒定线性极化配置的系统。在操作中，系统开始于将照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配照明源的物理实现。接下来，通过分别指定每个扇区中的恒定线性极化状态以匹配照明源的极化配置，系统为照明源构造源极化模型。

主权项

一种用于构造源极化模型以仿真光学光刻系统中的横向电极化照明源的物理实现的方法，所述方法包括：将所述照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配所述照明源的物理实现；对于每个扇区，通过限定基本垂直于平分所述扇区的半径的恒定线性极化角，以及基于相应的所述恒定线性极化角为所述扇区中的线性极化状态提供数学表示，对所述照明源的物理实现进行建模，其中所述数学表示与所述扇区内的所述照明源的物理实现匹配；以及将对所述照明源的物理实现进行建模的所述源极化模型结合到光学光刻模型中，其中一组圆扇区中的各个圆扇区由单个线性极化状态建模。