发明名称 |
一种TFT阵列基板、显示面板和显示装置 |
摘要 |
本发明公开了一种TFT阵列基板、显示面板和显示装置,包括:第一基板;位于所述第一基板上的栅极和扫描线;位于所述栅极和扫描线上的栅极绝缘层;位于所述栅极绝缘层上、所述栅极上方的有源层;覆盖所述有源层的沟道区域的刻蚀阻挡层;所述TFT阵列基板还包括覆盖所述扫描线的遮光层;所述遮光层和所述刻蚀阻挡层位于同一层,且均采用高阻遮光材料。采用高阻遮光材料作为刻蚀阻挡层,可以防止从TFT顶部的光照射到TFT的半导体层的沟道区域;采用与该刻蚀阻挡层同一层的挡光层遮盖扫描线,可以去除彩膜基板上对应扫描线的黑色矩阵,提高了开口率;刻蚀阻挡层与遮光扫描线的挡光层位于同一层,材料相同,不增加新的工艺步骤,节约了成本。 |
申请公布号 |
CN103943626A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201310043756.X |
申请日期 |
2013.02.04 |
申请人 |
上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
发明人 |
臧浩春 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种TFT阵列基板,包括: 第一基板; 位于所述第一基板上的栅极和扫描线; 位于所述栅极和扫描线上的栅极绝缘层; 位于所述栅极绝缘层上、所述栅极上方的有源层; 覆盖所述有源层的沟道区域的刻蚀阻挡层; 其特征在于,所述TFT阵列基板还包括覆盖所述扫描线的遮光层;所述遮光层和所述刻蚀阻挡层位于同一层,且均采用高阻遮光材料。 |
地址 |
201201 上海市浦东新区汇庆路889号 |