降低手机时间管理模块漏电的工艺改进方法

摘要

一种降低手机时间管理模块漏电的工艺改进方法。针对手机时间管理模块的制造，使得介电质化学气相淀积机台进行周期清洗工艺，其中介电质化学气相淀积机台每当针对预定数量的硅片处理完沉积工艺则清洗一次反应腔，而且其中针对清洗的反应腔，针对手机时间管理模块的制造，使得沉积工艺的时间延长。在射频时间连续的一次刻蚀工艺中，随着刻蚀时间的增大，逐渐减小针对每个硅片的刻蚀时间。

主权项

一种降低手机时间管理模块漏电的工艺改进方法，其特征在于包括：针对手机时间管理模块的制造，使得介电质化学气相淀积机台进行周期清洗工艺，其中介电质化学气相淀积机台每当针对预定数量的硅片处理完沉积工艺则清洗一次反应腔，而且其中针对清洗的反应腔，使得沉积工艺的时间延长。