液体滴下装置

摘要

本发明提供一种能够以准确的微少量向对象物滴下液化软钎料等的液体的液体滴下装置。通过向贮留滴下用液体并且与喷嘴孔连通的液体蓄积部浸渍能够沿该喷嘴孔的开口方向直线性地驱动的杆的前端，并对该杆进行微小量的直线驱动，从而使贮留液体中产生压缩波，利用该压缩波具有的波动能使规定量的液体从喷嘴孔滴下。

主权项

一种液体滴下装置，是滴下规定量的液体的液体滴下装置，其特征在于，具有：液体接受部，该液体接受部蓄积所述液体而形成液体蓄积部；喷嘴，该喷嘴具有与在所述液体接受部中蓄积所述液体的区域连通并且所述液体能够通过的喷嘴孔；致动器；和杆，该杆的一个端部被浸渍于所述液体蓄积部中，另一端部被所述致动器支持，能够沿所述喷嘴孔的形成轴方向移动，以及与所述喷嘴孔的所述形成轴同轴、且与所述喷嘴孔连通，并具有规定的长度的导孔；和能够从与所述喷嘴孔连通的一侧向所述导孔供给惰性气体的惰性气体供给系统，所述杆通过所述致动器能够在所述形成轴方向上直线运动，通过所述杆的所述直线运动而使所述液体蓄积部的一部分产生波动能，所述液体因所述波动能而从所述喷嘴孔滴下，所述液体在所述导孔内通过所述惰性气体的流动而被沿着滴下方向引导，所述液体滴下装置还具有：形成于喷嘴凸缘和喷嘴压紧件之间的滴下侧气氛空间，所述喷嘴凸缘配置在所述喷嘴孔的开口部的所述液体的滴下侧，覆盖所述喷嘴孔的开口部周围，可使所述开口部周围成为惰性气体气氛，所述喷嘴压紧件使所述喷嘴抵接固定于所述液体接受部；和碟形弹簧，所述碟形弹簧配置于所述滴下侧气氛空间被所述喷嘴凸缘施力而经由所述喷嘴压紧件按压所述喷嘴及所述液体接受部形成所述液体蓄积部。