一种晶圆清洗机的烘干机构

摘要

本实用新型涉及一种晶圆清洗机的烘干机构，包括至少一个呈圆柱状的氮气喷嘴，具有一个平面的盛放台和掩板；所述盛放台置于一个平台上；所述掩板的大小不小于盛放台的平面，并且所述掩板平面与盛放台平面形状相似，所述掩板设置于盛放台正上方一定距离处，所述掩板上均匀设置有对应氮气喷嘴个数的通孔，所述通孔的大小与氮气喷嘴相适应；所述每个氮气喷嘴穿透一个通孔，并且所述氮气喷嘴喷出氮气的一端正对盛放台。本实用新型采用掩板遮挡外溢的氮气，确保压缩的氮气能够全部作用在晶圆表面，将其表面的水分带走，一方面实现解决水痕缺陷的效果，另一方面同时实现了能源的节约。

主权项

一种晶圆清洗机的烘干机构，其特征在于，包括至少一个呈圆柱状的氮气喷嘴（1），具有一个平面的盛放台（2）和掩板（3）；所述盛放台（2）置于一个平台上；所述掩板（3）的大小不小于盛放台的平面，并且所述掩板（3）平面与盛放台平面形状相似，所述掩板（3）设置于盛放台（2）正上方一定距离处，所述掩板（3）上均匀设置有对应氮气喷嘴（1）个数的通孔（4），所述通孔（4）的大小与氮气喷嘴（1）相适应；所述每个氮气喷嘴（1）穿透一个通孔，并且所述氮气喷嘴（1）喷出氮气的一端正对盛放台（2）。