发明名称 |
一种电容式RF MEMS开关 |
摘要 |
一种电容式RF MEMS开关,包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极,所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上,所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上,所述弹性折叠梁一端与锚点连接,一端与上电极连接,所述上电极与所述绝缘介质层留有间隙,所述弹性折叠梁弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个;所述上电极分为驱动电极板和电容上极板,所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接。通过优化上极板的支撑结构,从而有效的降低微桥的弹性系数,从而降低电容式RF MEMS开关的驱动电压。实验证明,驱动电压可低于3V。 |
申请公布号 |
CN103943417A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201410139807.3 |
申请日期 |
2014.04.09 |
申请人 |
苏州锟恩电子科技有限公司 |
发明人 |
杨俊民 |
分类号 |
H01H59/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01H59/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种电容式RF MEMS开关,包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极,所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上,所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上,所述弹性折叠梁一端与锚点连接,一端与上电极连接,所述上电极与所述绝缘介质层留有间隙,其特征在于:所述弹性折叠梁弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个;所述上电极分为驱动电极板和电容上极板,所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接。 |
地址 |
215153 江苏省苏州市高新区通安镇华金路255-7号 |