发明名称 |
一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计 |
摘要 |
本发明公开了一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计,包括三个框架结构:悬浮内框架、悬浮外框架与固定框架,所述固定框架以键合的方式与底座形成密封连接。所述三个框架结构呈对称布置,形状为矩形或环形。还包括设置于X、Y、Z方向上的弹性感应梁。所述X方向敏感梁上的压敏电阻以串联方式布置在电桥的一个桥臂,其上的压敏电阻变化能减少与Y轴、及Z轴之间的耦合。Y方向敏感梁上的压敏电阻变化也能减少其与X轴、及Z轴间的耦合。Z方向敏感梁上的压敏电阻变化也能减少其与X轴、Y轴间的耦合。本发明设计巧妙,产品良率高,解决了现有技术中中单质量块压敏电阻式三轴MEMS加速度传感器轴间耦合过大、灵敏度低、测量精度低的问题。 |
申请公布号 |
CN103941041A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201410124054.9 |
申请日期 |
2014.03.28 |
申请人 |
武汉瑞芯科微电子技术有限公司 |
发明人 |
邓佩刚;杨政 |
分类号 |
G01P15/12(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 |
代理人 |
黄冠华 |
主权项 |
一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计,其特征在于,包括三个框架结构:悬浮内框架、悬浮外框架与固定框架,所述固定框架以键合的方式与底座形成密封连接。 |
地址 |
430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号武汉国家生物产业基地项目B、C、D区研发楼B1栋 |