| 发明名称 | 激光诱致热成像用膜的去除装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种激光诱致热成像用膜的去除装置。该装置包括：基板台，该基板台上设置有基板；辊单元，相继压制设置在该基板台上的供体薄膜；以及喷射单元，设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气从而将该供体薄膜从该基板上分离。 | ||
| 申请公布号 | CN102315393B | 申请公布日期 | 2014.07.23 |
| 申请号 | CN201110176821.7 | 申请日期 | 2011.06.28 |
| 申请人 | AP系统股份有限公司 | 发明人 | 梁相熙;金相午;将盛旭;金焕 |
| 分类号 | H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 武晨燕;周义刚 |
| 主权项 | 一种激光诱致热成像用膜的去除装置，其特征在于，包括：基板台，该基板台上设置有基板；辊单元，用于相继压制设置在该基板台上的供体薄膜；以及喷射单元，设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气，其中，所述喷射单元包括：穿过所述基板台的多个排气管；与该排气管连通的集气管；与该集气管连通的供气管；以及与该供气管连通并通过该供气管提供气动压的供气泵。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||