发明名称 |
液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置 |
摘要 |
本发明提供一种液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置,其中,方法包括在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件;在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室;通过键合工艺在所述压力腔室上成形过渡层,并在所述过渡层上形成喷孔板;通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔。本发明是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室,当需要增加液体喷头的压力腔室的数量时,在第一基底上单独形成压力腔室,因而不会减小第一基底的机械强度,在制造过程中可以避免第一基底破损,从而提高液体喷头的成品率,降低制造成本。 |
申请公布号 |
CN103935128A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201410182638.1 |
申请日期 |
2014.04.29 |
申请人 |
大连理工大学;珠海纳思达企业管理有限公司 |
发明人 |
邹赫麟;何敬志;李越;陈晓坤 |
分类号 |
B41J2/16(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I;B41J2/01(2006.01)I |
主分类号 |
B41J2/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
刘芳 |
主权项 |
一种液体喷头制造方法,其特征在于,包括:在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件;在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室;通过键合工艺在所述压力腔室上成形过渡层,并在所述过渡层上形成喷孔板;通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔。 |
地址 |
116024 辽宁省大连市高新区凌工路2号 |