光刻胶用剥离液组合物及其制备和应用

摘要

本发明涉及一种光刻胶用剥离液组合物及其制备和应用。所述组合物的主要组分及其质量份数为：a组分0.3-5份，b组分2-15份，c组分0.05-5份，d组分2-15份；所述a组分为含氟的羧酸或其盐，所述b组分为烷醇胺类或季胺氢氧化物中的至少一种碱性化合物，所述c组分为含硫防腐蚀剂，所述d组分为极性有机溶剂。本发明的剥离液组合物能很好的剥离光刻胶，而且，对金属布线有良好的防腐蚀效果。

主权项

一种光刻胶用剥离液组合物，其特征在于，所述组合物的主要组分及其质量份数如下：a组分0.3‑5份，b组分2‑15份，c组分0.05‑5份，d组分2‑15份；所述a组分为碳原子数2‑4的烷基含氟羧酸或三氟甲基苯甲酸，所述b组分为单乙醇胺、二乙醇胺、丙醇胺、N‑甲基乙醇胺、N‑乙基乙醇胺、N‑丁基乙醇胺、单异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵、氢氧化四丙基铵、氢氧化四丁基铵、氢氧化单甲基三丙基铵和氢氧化（2‑羟基乙基）三甲基铵中的至少一种，所述c组分为二硫代双甘油、二（2,3‑二羟基丙硫基）乙烯、1‑硫代甘油、2‑巯基乙醇和3‑巯基‑1‑丙醇中的至少一种，所述d组分为二甲亚砜、N‑甲基‑2‑吡咯烷酮、N,N‑二甲基乙酰胺、N,N‑二甲基甲酰胺、N,N‑二甲基咪唑、γ‑丁内酯和环丁砜中的至少一种。