发明名称 |
叠层芯片的晶圆级凸块圆片级封装架构 |
摘要 |
本发明涉及一种叠层芯片的晶圆级凸块圆片级封装架构,包括作业芯片,所述作业芯片包括表层焊垫和表面钝化层;所述作业芯片的每一颗表层焊垫上生长有一根金属线;所述金属线与表层焊垫的键合点呈金属球结构;所述金属线的线弧与所述表层焊垫完全垂直;所述金属线的端部植有作为对外电性或者信号连接层的金属球。本发明弥补凸块结构的性能不足,并且解决了投资巨大、生产成本较高的问题。 |
申请公布号 |
CN103943583A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201410148410.0 |
申请日期 |
2014.04.14 |
申请人 |
宁波芯健半导体有限公司 |
发明人 |
俞国庆;邵长治;廖周芳;吴超 |
分类号 |
H01L23/488(2006.01)I;H01L23/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/488(2006.01)I |
代理机构 |
上海泰能知识产权代理事务所 31233 |
代理人 |
宋缨;孙健 |
主权项 |
一种叠层芯片的晶圆级凸块圆片级封装架构,包括作业芯片(1),其特征在于,所述作业芯片(1)包括表层焊垫(11)和表面钝化层(12);所述作业芯片(1)的每一颗表层焊垫(11)上生长有一根金属线(2);所述金属线(2)与表层焊垫(11)的键合点呈金属球结构(21);所述金属线(2)的线弧(22)与所述表层焊垫(11)完全垂直,形成金属凸块结构;所述金属线(2)的端部(23)植有作为对外电性或者信号连接层的金属球(3)。 |
地址 |
315336 浙江省宁波市杭州湾新区庵东工业园区华兴地块中横路18号 |